Toepassing
Alles-in-een-ontwerp, slim struktuur en vorm. SCAN-kop- en monsterstadium is saam ontwerp, sterk anti-vibrasieprestasie. Presisie laseropsporing en sonde-belyningsapparaat maak laseraanpassing eenvoudig en maklik. Aanpak servomotor om die monster met die hand te benut. of outomaties, om die posisie van presisie-skanderingsarea te verwesenlik. Hoë-akkuraatheid en 'n groot reeks monsteroordragtoestel maak dit moontlik om enige interessante monsterarea te skandeer; verskillende soorte skandeerder voldoen aan die vereistes van verskillende klante in akkuraatheid en skanderinggrootte; optiese waarnemingstelsel vir tipkontrole en monster posisionering.ccd-waarnemingstelsel vir intydse monsterarea waarneming en posisie; gebruik servomotor om CCD-motorfokus-elektroniese stelsel te bereik, is ontwerp as modulêr en maklik vir onderhoud en ontwikkeling. Geïntegreer met baie werkmodusse beheer elektronika vir verdere ontwikkeling.
Belangrike kenmerke
1. Skandeerkop- en steekproefstadium is saam ontwerp, sterk anti-vibrasieprestasie
2. Presisie laseropsporing en sonde -belyningsapparaat maak laserverstelling eenvoudig en maklik;
3. Pas servomotor aan om die monster met die hand of outomaties te benut, om die posisie van presisie -skanderingsarea te verwesenlik.
4. Hoë-akkuraatheid en 'n groot reeks monsteroordragapparaat maak dit moontlik om enige interessante monsterarea te skandeer;
5. Optiese waarnemingstelsel vir tipkontrole en monsterposisionering.
6. Elektroniese stelsel is ontwerp as modulêr en maklik vir onderhoud en verdere ontwikkeling.
7. Neem die lente aan vir die isolasie van vibrasies, eenvoudige en goeie werkverrigting.
Spesifikasie
Operasie | Kontakmodus, wrywingmodus, | Skandeerhoek | Lukraak |
Steekproefgrootte | Ø≤90mm, H≤20mm | Voorbeeldbeweging | 0 ~ 20mm |
Maks. skandeer | X/y: 20μm, z: 2μm | Polswydte van naderende motor | 10 ± 2ms |
Resolusie | X/y: 0,2 nm, z: 0,05 nm | Optiese stelsel | Vergroting: 4x, |
Skandeer koers | 0.6Hz ~ 4.34Hz | Datapunte | 256 × 256,512 × 512 |
Skandering | XY: 18-bis D/A, Z: 16-bis D/A | Terugvoertipe | DSP digitale terugvoer |
Data -steekproefneming | Een 14-bis A/D en dubbel 16-bis A/D-meervoudige kanaal gelyktydig | ||
PC -verbinding | USB2.0 | Terugvoermonsterneming | 64.0khz |
Vensters | Versoenbaar met Windows 98/2000/xp/7/8 |
Standaard
GB/T 2985-1991
Regte foto's