Toepassing
Alles-in-een ontwerp, slim struktuur en vorm. Skandeerkop en monster verhoog is saam ontwerp, sterk anti-vibrasie werkverrigting. Presisie laser opsporing en sonde belyning toestel maak laser aanpassing eenvoudig en maklik. Pas servomotor aan om die monster naderende punt met die hand aan te dryf of outomaties, om presisie skandeerarea posisionering te realiseer. Hoë-akkuraatheid en 'n groot reeks monsteroordragtoestel laat toe om enige interessante area van monster te skandeer; Verskillende tipes skandeerder voldoen aan verskillende klante se vereistes in akkuraatheid en skanderinggrootte; optiese waarnemingstelsel vir wenkkontrole en monster posisionering.CCD-waarnemingstelsel vir intydse monsterareawaarneming en posisie;Gebruik servomotor om CCD-outofokusering te bereik Elektroniese stelsel is as modulêr ontwerp en maklik vir instandhouding en ontwikkeling.Geïntegreer met baie werkmodusse beheerelektronika vir verdere ontwikkeling.
Sleutel kenmerke
1. Scan kop en monster stadium is saam ontwerp, sterk anti-vibrasie prestasie
2. Presisie laser opsporing en sonde belyning toestel maak laser aanpassing eenvoudig en maklik;
3. Pas servomotor aan om die monster wat naderende punt handmatig of outomaties aan te dryf, om presisie skandering area posisionering te realiseer.
4. Hoë-akkuraatheid en 'n groot reeks monster oordrag toestel laat toe om enige interessante area van monster te skandeer;
5. Optiese waarnemingstelsel vir puntkontrole en monsterposisionering.
6. Elektroniese stelsel is modulêr ontwerp en maklik vir instandhouding en verdere ontwikkeling.
7. Neem veer aan vir vibrasie-isolasie, eenvoudige en goeie werkverrigting.
Spesifikasie
| Operasie | Kontakmodus, wrywingmodus, | Skandeerhoek | Willekeurig |
| Steekproefgrootte | Ø≤90mm, H≤20mm | Voorbeeld van beweging | 0 ~ 20 mm |
| Maks.skandeer | X/Y: 20μm, Z: 2μm | Polswydte van naderende motor | 10±2ms |
| Resolusie | X/Y: 0,2 nm, Z: 0,05 nm | Optiese stelsel | Vergroting: 4x, |
| Skandeertempo | 0.6Hz~4.34Hz | Datapunte | 256×256,512×512 |
| Skandeer | XY: 18-bis D/A, Z: 16-bis D/A | Terugvoer tipe | DSP digitale terugvoer |
| Datasteekproefneming | Een 14-bis A/D en dubbele 16-bis A/D meervoudige kanaal gelyktydig | ||
| PC verbinding | USB 2.0 | Terugvoersteekproeftempo | 64.0KHz |
| Vensters | Versoenbaar met Windows 98/2000/XP/7/8 | ||
Standaard
GB/T 2985-1991
Regte foto's
