1.Die laseropsporingkop en die monsterskanderingstadium is geïntegreer, die struktuur is baie stabiel, en die anti-interferensie is sterk
2.Precision sonde posisionering toestel, laser kol belyning aanpassing is baie maklik
3. Enkel-as dryfmonster nader die sonde outomaties vertikaal, sodat die naaldpunt loodreg op die monsterskandering is
4.Die intelligente naaldvoedingsmetode van motor-beheerde piëzo-elektriese keramiek outomatiese opsporing onder druk beskerm die sonde en die monster
5. Outomatiese optiese posisionering, nie nodig om te fokus nie, intydse waarneming en posisionering van die sondemonsterskanderingsarea
6. Spring skorsing skokbestande metode, eenvoudig en prakties, goeie skokbestande effek
7. Metaalbeskermde klankdigte boks, ingeboude hoë-presisie temperatuur en humiditeit sensor, intydse monitering van die werksomgewing
8. Geïntegreerde skandeerder nie-lineêre regstelling gebruikersredigeerder, nanometer karakterisering en meting akkuraatheid beter as 98%
Bedryfsmodus | raakmodus, tikmodus |
Opsionele modus | Wrywing/laterale krag, amplitude/fase, magnetiese/elektrostatiese krag |
kragspektrumkromme | FZ-kragkurwe, RMS-Z-kromme |
XY-skanderingreeks | 20*20um, opsioneel 50*50um, 100*100um |
Z-skanderingreeks | 2.5um, opsioneel 5um, 10um |
Skandeer resolusie | Horisontaal 0.2nm, Vertikaal 0.05nm |
Steekproefgrootte | Φ≤90mm, H≤20mm |
Voorbeeld verhoogreis | 15*15 mm |
Optiese waarneming | 4X optiese objektieflens/2.5um resolusie |
Skandeerspoed | 0,6Hz-30Hz |
Skandeerhoek | 0-360° |
Bedryfsomgewing | Windows XP/7/8/10 bedryfstelsel |
Kommunikasie-koppelvlak | USB2.0/3.0 |
Skokabsorberende ontwerp | Veerhangende/metaalbeskermde boks |