1. Geminiaturiseerde en afneembare ontwerp, baie maklik om te dra en te leer
2. Die laseropsporingskop en die monsterskanderingstadium is geïntegreer, die struktuur is baie stabiel, en die anti-interferensie is sterk
3. Presisie sonde posisionering toestel, laser kol belyning aanpassing is baie maklik
4. Die enkel-as dryf die monster om die sonde outomaties vertikaal te nader, sodat die punt van die naald loodreg op die monster geskandeer word
5. Die intelligente naaldvoedingsmetode van die motor-beheerde piëzo-elektriese keramiek outomatiese opsporing onder druk beskerm die sonde en die monster
6. Outomatiese optiese posisionering, nie nodig om te fokus nie, intydse waarneming en posisionering van die sondemonsterskanderingsarea
7. Spring skorsing skokbestande metode, eenvoudig en prakties, goeie skokbestande effek
8. Geïntegreerde skandeerder nie-lineêre regstelling gebruikersredigeerder, nanometer karakterisering en meting akkuraatheid beter as 98%
Spesifikasies:
| Bedryfsmodus | raakmodus, tikmodus |
| Opsionele modus | Wrywing/laterale krag, amplitude/fase, magnetiese/elektrostatiese krag |
| kragspektrumkromme | FZ-kragkurwe, RMS-Z-kromme |
| XY-skanderingreeks | 20*20um, opsioneel 50*50um, 100*100um |
| Z-skanderingreeks | 2.5um, opsioneel 5um, 10um |
| Skandeer resolusie | Horisontaal 0.2nm, Vertikaal 0.05nm |
| Steekproefgrootte | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Voorbeeld verhoogreis | 15*15 mm |
| Optiese waarneming | 4X optiese objektieflens/2.5um resolusie |
| Skandeerspoed | 0,6Hz-30Hz |
| Skandeerhoek | 0-360° |
| Bedryfsomgewing | Windows XP/7/8/10 bedryfstelsel |
| Kommunikasie-koppelvlak | USB2.0/3.0 |
| Skokabsorberende ontwerp | Lente opgeskort |
